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INP - Projekt: Diagnostik und Modellierung der Plasma-Teilchen-Wechselwirkung
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PROJEKT: Für die gezielte Behandlung und Manipulation mikrodisperser Partikel zur Oberflächenmodifikation bzw. zum Schichteinbau an vorbestimmten Positionen fehlen exakte Kenntnisse über Aufladungs- und Einfangverhalten. Für eine Reihe von Plasmaquellen gibt es bisher nur einen unbefriedigenden Zugang zu einer einfachen Prozessdiagnostik der Randschicht.
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Lösungsansatz:
Es sollen die Zusammenhänge zwischen Eigenschaften der Partikel (Masse, Ladung, Geometrie und Position) und den Einflüssen durch das umgebende Plasma (Ladungsträgerstrom, Energiestrom und Feldwirkung) erforscht werden.
In der Apparatur PULVA-INP wird mittels umfangreicher Plasma- und Teilchendiagnostik zusammen mit problemangepasster theoretischer Analyse eine möglichst vollständige Beschreibung des Verhaltens mikrodisperser Partikel im Plasma bei lokaler Beeinflussung durch eine Adaptive Elektrode angestrebt. Die lasergestützte Partikelvisualisierung erfolgt mit einer monochromen CCD-Kamera. Neben Langmuirsondenmesstechnik und energieaufgelöster Massenspektrometrie werden auch nicht-konventionelle Messmethoden zur Bestimmung der Energieströme (Thermosonde) und Randschichtvermessung (Randschichtemissionsphotometrie mittels CCD-Kamera) eingesetzt. Im Zusammenwirken mit anderen Plasmaprozessquellen (Magnetron, Ionenstrahlquelle) sollen spezifische Teilchen als Mikrosonden qualifiziert werden.
Nutzen:
Es werden die Grundlagen einer maßgeschneiderten Handhabung von mikrodispersen Partikeln im elektrischen Feld der Randschicht von technologisch relevanten Plasmen erarbeitet. Ziel ist eine optimale Ausnutzung der Eigenschaften von Niedertemperaturplasmen bei ihrer technischen Applikation zur Modifizierung der Teilchenoberflächen für mechanische, optische, biologische und pharmazeutische Belange oder zur Manipulation für eine zielgerichtete Teilchensortierung.
Finanzierung:
Eigenfinanziert
Projektleiter
Dr. H. Kersten
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Öffentlich finanzierte Forschungsprojekte 
für Projekte
sciencenet-mv.de
