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DFG - Transferbereich 36: Steuerung von Plasmaprozessen durch Einsatz von Infrarot-Lasern
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PROJEKT: Der Transferbereich 36 geht aus dem Sonderforschungsbereich (SFB) 198 „Kinetik partiell ionisierter Plasmen“ hervor. In dem SFB 198 beschäftigen sich mehrere Teilprojekte mit der Diagnostik und Reaktionskinetik von molekularen Nichtgleichgewichtsplasmen.
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Im Teilprojekt A12 wird die hochauflösende durchstimmbare Diodenlaser-Absorptionsspektroskopie im mittleren Infrarot (IR-TDLAS) zur Konzentrationsbestimmung von Molekülen (stabile Reaktionsprodukte, Radikale/Molekülfragmente, Molekülionen) eingesetzt. Mit der Verfügbarkeit von Quantenkaskadenlaser (QCL), die im Gegensatz zu den bisher mit Heliumkühlung eingesetzten Bleisalz-Diodenlasern nahe der Raumtemperatur arbeiten, ergibt sich eine Perspektive für den Einsatz dieser QCL zur Echtzeitprozesskontrolle und damit zur effektiven Steuerung von Plasmaprozessen unter industriellen Bedingungen.
Die Niedertemperatur-Plasmen sind ein weitverbreitetes Arbeitsmittel, um Werkstoffoberflächen durch Beschichtung oder Materialabtrag für spezielle Funktionen vorzubereiten. In Kooperation mit Partnern aus der Industrie soll zunächst ein wartungsarmes Meß- und Steuermodul entwickelt und hergestellt werden. Die Praxistauglichkeit soll dann unter industriellen Bedingungen erprobt werden.
Darüber hinaus sind durch die erstmalige Nutzung von QCL für Zwecke der Plasmadiagnostik auch neue Impulse für die Grundlagenuntersuchungen an molekularen Plasmen zu erwarten.
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Laufzeit: 2002 - 2005
Sprecher
Professor Dr. Jürgen Meichsner
Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald Fach Physik
Domstraße 10a
17489 Greifswald
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 Dieser Inhalt ist auch in englischer Sprache verfügbar.
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Öffentlich finanzierte Forschungsprojekte 
für Projekte
physik.uni-greifswald.de
